Die neuen Aushärtungslampen ermöglichen ein flexibel wählbares Kühlprofil. (Bild: Delolux)
Für einen Entwickler von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie hat das Unternehmen auf Basis eines Delolux 20 Lampenkopfs die UV-Lampe Delolux 203 entwickelt. Die Flächenlampe ist für den Einsatz im Reinraum konzipiert, und darf somit keinen Einfluss auf den darin bestehenden ständigen, laminaren Luftstrom haben. Delo, Windach, hat deshalb den ursprünglichen Lüfter entfernt und durch ein neues, externes Kühlprofil ersetzt, das über Wasserkühlung funktioniert.
Anwender profitieren bei dem Produkt von den Vorteilen einer klassischen, langlebigen Delolux 20 mit einer Wellenlänge von 365 nm. Die Lampe wiegt ohne Kühlmodul 1,6 kg bei einer Größe von 112 x 112 x 121 mm. Sie ist mit einer Intensität von mehr als 600 mW/cm² erhältlich und lässt sich anwenderfreundlich nach dem Plug-&-Play-Prinzip in Produktionslinien integrieren. Dabei ist der Intensitätsverlauf über die gesamte Belichtungszeit konstant.
