Präzise 3D-Inspektion spiegelnder Oberflächen

Wenn hochpräzise 3D-Messungen auf spiegelnden und glänzenden Bauteilen gefragt sind, kommt der Reflectcontrol Sensor zum Einsatz. Insbesondere bei ebenen Oberflächen überzeugt die Reflectcontrol-Technologie durch hohe Messraten bei Mikrometer-Genauigkeit. Der Sensor generiert ein Streifenmuster, das über die Oberfläche des Messobjekts in die Kamera des Sensors gespiegelt wird. Verzerrungen im Streifenmuster bedeuten Abweichungen auf der Oberfläche. Diese werden softwarebasiert ausgewertet.Der 3D-Sensor Reflectcontrol erkennt prozesssicher minimale Ebenheitsabweichungen unter 1 µm. Eingesetzt wird der Sensor beispielsweise zur 3D-Formerfassung von Wafern in der Halbleiterproduktion und der Qualitätsprüfung von Flachglas beispielsweise in der Smartphone-Produktion.

Quelle: Micro-Epsilon