Optische Sensoren von Flo-IR, Oberdorf, Schweiz, eignen sich zur Messung, da sie paralleles Licht zur Messung verwenden, also kaum eine Dimension haben. Mit Licht sind geometrische Messungen oder Schichtdicken auf sehr kleinen Flächen oder auch an unzugänglichen Stellen möglich. Die Sensoren arbeiten nach dem Prinzip der optischen Tomografie und nutzen Unterschiede im Brechungsindex zur Bestimmung von Materialübergängen. Mit der optischen Tomografie werden auf dem Objekt in Mikrometerabständen Signale erfasst. Bei jedem Schichtübergang liefert die optische Tomografie ein Signal, das der Flugzeit eines Photons entspricht und in der Folge als Abstand oder als Schichtdicke ausgewertet werden kann. Die Sensoren vermessen Bohrungen oder Nuten mit kleineren Öffnungen als 10 µm, auch wenn die Tiefe 1 mm überschreitet. Die Messung der Geometrie oder der Dicke einer Beschichtung erfolgt mit den Systemen auf kleinsten Oberflächen und in Nuten, Vertiefungen oder Bohrungen.