Gesteigerte Auflösung und schnellere FIB-Materialbearbeitung (Bildquelle: Zeiss)

Gesteigerte Auflösung und schnellere FIB-Materialbearbeitung (Bildquelle: Zeiss)

Nanostrukturen, zum Beispiel in Verbundwerkstoffen, Metallen, Biomaterialien oder Halbleitern, können gleichzeitig mit analytischen und bildgebenden Methoden untersucht werden. Das Mikroskop ermöglicht es, Proben simultan zu modifizieren und zu beobachten, was in schneller Probenpräparation und hohem Durchsatz resultiert, zum Beispiel bei der Anfertigung von Querschnitten, TEM-Lamellen oder beim Nanopatterning. Es liefert beste Bildqualität in 2D und 3D. Der neue Tandem-Decel-Modus ermöglicht neben der gesteigerten Auflösung eine Maximierung des Bildkontrasts bei niedrigen Landeenergien. Mit der wegweisenden Gemini-I- Elektronenoptik werden optimale Auflösung bei Niederspannung und gleichzeitig hohem Strahlstrom erreicht.