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Prüfgeräte Optische Messtechniken haben den Vorteil, dass Messungen berührungslos und schnell ablaufen. Oberflächen können realistisch dargestellt werden und 3D-Messungen von ganzen Werkstücken sind möglich. Mahr, Göttingen, hat mehrere optische Messplätze im Portfolio. Am Messplatz Marvision QM 300 kann der Anwender automatische 2D-Messungen kleiner Werkstücke mit automatischer Teileerkennung und -ausrichtung durchführen. Der Oberflächenmessplatz Marsurf WM 100 leistet mithilfe eines Weißlicht-Interferometers präzise 2D- und 3D-Analysen feiner metallischer und optischer Oberflächen. Der Formmessplatz Marform MFU 110 kombiniert taktile Messung mit dem optischen Punktsensor IPS 15 bei 200 U/min.

Mit dem optischen 3D-Scanner Marsurf FP 40/180 mit berührungsloser Streifenprojektion kann der Anwender vollautomatisch die Geometrie von Werkstücken überprüfen und messen lassen. Das Messmikroskop Marvision MM 320 mit motorischem Zoom eignet sich für 2D-Messungen größerer Werkstücke und erkennt Merkmale automatisch. Der Oberflächenmessplatz Marsurf CWM 100 kombiniert interferometrische und konfokale Messverfahren zur topografischen 2D- und 3D-Topografie-Messung und kann nahezu jede Oberfläche messen. Auf dem Wellenmessplatz Marshaft Scope 350 Plus misst eine Matrixkamera kleine genaue Konturelemente an rotationssymmetrischen Werkstücken.