Lasertechnik Ob zur Herstellung von Masken und Mikrosieben oder zur Erzeugung funktionaler Oberflächen für tribologisch hochbelastete Bauteile oder Prägewerkzeuge: Immer mehr Anwendungen benötigen eine mikrostrukturierte Oberfläche und dies auf einer immer größeren Fläche. Die Erzeugung von Strukturen auf Werkstücken im Mikrometerbereich erfordert eine besonders präzise Bearbeitung, wie sie optimal mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung erfolgen kann. Derzeit werden zu diesem Zweck neben mechanischen Verfahren meist Nanosekundenlaser eingesetzt.

Allerdings bergen sie den Nachteil, dass bei der Nanosekunden-Bearbeitung durch Schmelzeffekte Aufwürfe entstehen und daher oft eine aufwändige Nachbearbeitung des Werkstücks erfolgen muss. Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Aachen, hat für die Herstellung periodischer Mikrostrukturen ein neues Optiksystem entwickelt, das die Prozessgeschwindigkeit bei der Bearbeitung mit Ultrakurzpulslasern im Vergleich zu herkömmlichen Systemen um ein Vielfaches steigert. Durch die Aufteilung des Laserstrahls in eine Vielzahl von Teilstrahlen kann die Leistung von Hochleistungs-Ultrakurzpulslasern für die Mikrobearbeitung in vollem Umfang ausgeschöpft werden.