Am Institut wurde ein Laborsystem für die EUV-Bearbeitung von Wafern mit bis zu 100 mm Durchmesser aufgebaut. (Bildquelle:  Fraunhofer ILT)

Am Institut wurde ein Laborsystem für die EUV-Bearbeitung von Wafern mit bis zu 100 mm Durchmesser aufgebaut. (Bildquelle: Fraunhofer ILT)

Das Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT, Aachen, entwickelt Technologien zur Herstellung von Nanostrukturen, die auch Start-ups oder Mittelständler bezahlen können. Wie lassen sich Strukturen erzeugen, die kleiner als ein Mikrometer sind? Und wie kann man sogar noch kleinere Strukturen unter 100 Nanometer ohne großen Aufwand herstellen? Die Wissenschaftler haben für solche Fragen mehrere Technologien entwickelt. Damit können sie periodische Mikrostrukturen simulieren, herstellen und vermessen. Sie nutzen dafür phasenschiebende Transmissionsmasken, die Nanostrukturen bis hinunter zu 28 Nanometern effizient generieren.